以下以氧氣plasma等離子體去除物體表面的油污為例，說明這些功能。通過分析可以看出，plasma等離子體對油污的作用與使油污發生燃燒反應相似；但不同之處在于，它是在低溫條件下發生的燃燒。氧等離子體中的氧原子自由基、激發狀態的氧分子、電子和紫外線的共同作用下將其氧化成水和二氧化碳分子，并將其從物體表面去除。

     可見，用plasma等離子體去除油污的過程是一種使有（機）大分子逐漸降解的過程，形成的是H2O和CO2小分子，這些小分子以氣體的形式被去除。另一個特征是，等離子體清洗后，物體已經全部干燥。經plasma等離子體處理的物體表面常形成許多新的活性基團，使物體表面（活）化，從而改變其性能，可大大提高其浸潤性和粘附性，這對許多材料很重要。所以等離子清洗有很多濕法清洗所不能與溶劑相比的優點。

       電漿清洗機由真空室，真空泵，高頻電源，電極，氣體輸入系統，產品輸送系統和控制系統組成。整個清潔過程大致如下；
1.plasma等離子體清洗過的產品送入真空并固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室的真空度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間幾分鐘左右；
2.將等離子清洗用氣體引入真空室，保持室內壓力穩定。根據清洗材料的不同，氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、CF4等氣體可以結合使用；
3.電極與接地裝置在真空室中施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并由輝光放電產生等離子體，使真空室內產生的等離子體全部覆蓋處理過的產品，開始清洗作業。一般的清洗過程可持續數十秒到數十分鐘；
4.清潔后切斷電源，通過真空泵排出氣體和氣化污垢。
         大家對plasma等離子體去除物體表面的油污是不是更清楚了。