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CRF plasma 等離子清洗機

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等離子清洗技術為何在半導體業中變成必不可少的呢?

       在半導體業中等離子清洗技術往往變成必不可少的一道加(工)工藝,其關鍵功效是可以合理提(升)半導體電子器件在生產加工全過程中引線鍵合的達標率,提(升)商品的可信性。依據統計分析,70%之上的半導體電子器件商品無效關鍵緣故是由鍵合無效造成,這是由于在半導體電子器件生產加工全過程中會遭受環境污染,會出現一些無機物和有(機)化學的殘留粘附在鍵合區,會危害到鍵合實際效(果),很容易出現接觸不良、空焊和引線鍵合抗壓強度稍低等缺點,進而造成商品的長期性可信性沒有確保。選用等離子清洗技術能夠將鍵開區的空氣污染物開展合理的清洗,提(升)鍵合區表層機械能及浸潤性,因而在引線鍵合前開展等離子清洗能夠大幅度降(低)鍵合的失效率,提(升)商品的可信性。
三大BGA封裝工藝及流程
一、引線鍵合PBGA的封裝工藝流程
1、PBGA基板的制備
在BT樹脂/玻璃芯板的兩面層壓極薄(12~18μm厚)的銅箔,然后進行鉆孔和通孔金屬化。用常規的PCB加3232藝在基板的兩面制作出圖形,如導帶、電極、及安裝焊料球的焊區陣列。然后加上焊料掩膜并制作出圖形,露出電極和焊區。為提高生產效率,一條基片上通常含有多個PBG基板。
2、封裝工藝流程
圓片減薄→圓片切削→芯片粘結→等離子清洗→引線鍵合→等離子清洗→模塑封裝→裝配焊料球→回流焊→表面打標→分離→再檢查→測試斗包裝。
二、FC-CBGA的封裝工藝流程
1、陶瓷基板
FC-CBGA的基板是多層陶瓷基板,它的制作是相當困難的。因為基板的布線密度高、間距窄、通孔也多,以及基板的共面性要求較高等。它的主要過程是:先將多層陶瓷片高溫共燒成多層陶瓷金屬化基片,再在基片上制作多層金屬布線,然后進行電鍍等。在CBGA的組裝中,基板與芯片、PCB板的CTE失配是造成CBGA產品失效的主要因素。要改善這一情況,除采用CCGA結構外,還可使用另外一種陶瓷基板–HITCE陶瓷基板。
2、封裝工藝流程
圓片凸點的制備->圓片切割->芯片倒裝及回流焊->底部填充導熱脂、密封焊料的分配->封蓋->裝配焊料球->回流焊->打標->分離->再檢查->測試->包裝。、

等離子清洗技術

三、引線鍵合TBGA的封裝工藝流程
1、TBGA載帶
TBGA的載帶通常是由聚酰亞胺材料制成的。在制作時,先在載帶的兩面進行覆銅,然后鍍鎳和鍍金,接著沖通孔和通孔金屬化及制作出圖形。因為在這種引線鍵合TBGA中,封裝熱沉又是封裝的加固體,也是管殼的芯腔基底,因此在封裝前先要使用壓敏粘結劑將載帶粘結在熱沉上。
2、封裝工藝流程
圓片減薄→圓片切割→芯片粘結→清洗→引線鍵合→等離子清洗→液態密封劑灌封→裝配焊料球→回流焊→表面打標→分離→再檢查→測試→包裝。
BGA封裝流行的主要原因是由于它的優勢明(顯),封裝密度、電性能和成本上的獨特優點讓其取代傳統封裝方式。隨著時間的推移,BGA封裝會有越來越多的改進,性價比將得到進一步的提高,BGA封裝有靈活性和優異的性能,未來前景廣闊。隨著等離子清洗這一道工序的加入,使得BGA封裝的未來更加充滿光明。


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